在國產電感耦合等離子體質譜儀中，ICP作為離子源，利用在電感線圈上施加的強大功率高頻射頻信號，在線圈內部形成高溫等離子體。通過氣體推動，維持等離子體的平衡和持續電離，使大多數樣品中的元素電離出一個電子，形成一價正離子。質譜則作為質量篩選和分析器，依據不同質核比（m/z）選擇離子通過，檢測離子強度，從而分析計算出對應元素的含量。
國產電感耦合等離子體質譜儀的優勢特色：
1.極低的檢出限：可檢測到極低濃度的元素，達ng/ml甚至更低水平，能滿足對超痕量元素分析的嚴苛要求。
2.寬動態線性范圍：能夠在較大濃度范圍內準確測定元素含量，從痕量到較高濃度的樣品均可有效分析。
3.多元素同時測定：可同時對元素周期表中大部分元素進行檢測，大大提高分析效率。
4.譜線簡單、干擾少：相較于其他分析技術，其譜線相對簡單，通過碰撞反應池等技術可有效消除多原子離子等干擾，提高分析準確性。
5.精密度高、分析速度快：能提供高精度的分析結果，且完成一次多元素分析所需時間較短，提升工作效率。
國產電感耦合等離子體質譜儀的應用領域：
1.環境監測
在環境領域，可用于大氣、水質、土壤和固廢污染物中超痕量無機元素分析。如監測大氣顆粒物中的重金屬元素，分析水質中重金屬含量以評估水體污染程度，檢測土壤中重金屬分布判斷土壤污染狀況等。例如，在飲用水源地重金屬污染監測中，車載式電感耦合等離子體質譜儀發揮了重要作用，可快速、準確檢測水源中的痕量重金屬，保障飲用水安全。
2.食品和藥品安全
用于食品和藥品中無機元素的超痕量分析，監測食品中的重金屬污染物、營養元素，以及藥品中的雜質元素等，確保食品藥品安全。例如檢測食品中的鉛、汞、鎘等有害重金屬含量，分析藥品中微量元素對藥效和安全性的影響。
3.半導體行業
對半導體材料中的超痕量元素分析至關重要，可檢測硅片、光刻膠等材料中的雜質元素，保障半導體產品質量和性能。過去我國半導體行業中質譜儀依賴進口，如今國產ICP-MS如萊伯泰科的產品已成功進入國內頭部晶圓FAB企業，逐步打破進口壟斷。
4.其他領域
在地質地礦領域，可用于測定巖石、礦石、礦物中的微量元素和同位素比值，輔助地質勘探和礦產資源評估；在生物制藥領域，分析生物樣品中的元素含量，助力藥物研發和質量控制；在農業系統中，檢測土壤、農產品中的元素，為合理施肥和農產品質量安全提供依據。
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